激光刻蝕FTO、ITO鈣鈦礦電池應用介紹
鈣鈦礦太陽能電池是利用鈣鈦礦型的有機金屬鹵化物半導體作為吸光材料的太陽能電池，是新一代的太陽能電池，具有高光電轉(zhuǎn)換率的特性，被譽為光伏行業(yè)新一代的革命者。目前鈣鈦礦太陽能電池普遍處于實驗性階段或試量產(chǎn)階段。
鈣鈦礦太陽能電池的介孔結(jié)構(gòu)為FTO導電玻璃、TiO2 致密層、TiO2 介孔層、鈣鈦礦層、HTM層、金屬電極，不同的研究項目組，對鈣鈦礦電池的結(jié)構(gòu)分布不一樣，通常情況下的理解為P1、P2、P3，一般理解為P1為FTO導電玻璃，P2為ITO或鈣鈦礦層，P3為鍍金材料或度銀材料，也有一些項目組采用碳粉材料。而激光刻蝕機在鈣鈦礦太陽能電池中的作用是對P1、P2、P3進行激光劃線，阻斷導通，從而形成單獨的模塊。
鈣鈦礦電池激光刻蝕與常規(guī)的單晶硅或PERC電池激光刻蝕不同的是，鈣鈦礦電池激光刻蝕要求在刻蝕FTO過程中保證激光刻蝕線寬、激光刻蝕線間距精確度，并且不傷及基材玻璃；刻蝕ITO或鈣鈦礦層要求保證激光刻蝕線寬、激光刻蝕線間距精確度，并不傷及PI層的FTO；刻蝕P3層銀漿層、鍍金層或碳粉層要保證激光刻蝕干凈、激光刻蝕線寬、激光刻蝕線間距精確度，同時保證刻蝕過程中不傷及P2層，而某些項目組一般認為P3激光刻蝕過程中傷及P2死區(qū)不受影響，對這方面不做要求。針對不同產(chǎn)品的需求，元祿光電定制開發(fā)了多款設備滿足項目開發(fā)，并可根據(jù)客戶的實際需求改善產(chǎn)品。
FTO激光刻蝕可采用納秒紅外光纖設備或納秒綠光激光設備進行刻蝕，不同的需求，選擇的激光波長不同。相比較而言，綠光激光刻蝕FTO的效果要優(yōu)于紅外光纖激光刻蝕FTO的效果。
常規(guī)的ITO導電玻璃激光刻蝕采用納秒紅外激光刻蝕機即可滿足加工需求，但在鈣鈦礦太陽能電池中的要求是在刻蝕ITO過程中不傷及P1層的FTO，因此對激光刻蝕機的要求更高，普通的納秒設備已無法滿足加工需求，需要用到皮秒甚至是飛秒激光刻蝕設備加工，不同的材料以及厚度，對激光刻蝕機的波長要求不同，同時對激光光源的單脈沖能量、脈寬、頻率有不同的要求，價格成本也就有了差異。而滿足P2層激光刻蝕機，同樣可以滿足對P3鍍金層、鍍銀層或碳粉層的加工，同樣需要皮秒或飛秒激光刻蝕設備。
激光刻蝕機針對鈣鈦礦太陽能電池行業(yè)中的加工應用，普遍的設備成本較高，對于一些尚處于研發(fā)型階段的客戶而言，購買成本過高，項目經(jīng)費投入到激光刻蝕設備中的投入產(chǎn)出在前期不成正比，但又是必須要的設備。